Bei manchen Untersuchungen interessiert die Verteilung eines bestimmten Elements über einen Probenbereich. In der Regel wird man dabei eine An- oder Dünnschliff verwenden. Dazu wird in einem EDX-Messprogramm ein Element als "Fenster" gesetzt. Sobald die Messung gestartet wird, sammelt der Videomodus des REM alle Impulse des Elements, die der Primärelektronenstrahl auf dem Probenbereich erzeugt. Nach einigen Minuten erhält man eine Elementverteilungskarte als Pixelbild, das die flächige Verteilung des Elements in weiß darstellt. Bei gering bis mittel konzentrierten Elementen sollte die Messzeit 10 Minuten betragen. Mit geeigneten Programmen kann man auch die gleichzeitige Kartierung mehrerer Elemente vornehmen und sie verschiedenfarbig nebeneinander oder überlagert darstellen. Allerdings steigt die Messzeit auf bis zu 1,5 Stunden pro Bildausschnitt.
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Mit Elementverteilungskarten lassen sich Minerale gleicher Zusammensetzung, Zonierungen in Mischkristallen oder Mineralumwandlungen auskartieren. Auch zur Suche von Mineralen lässt
sich das Verfahren nutzen.
Eine ähnliche Methode ist die Darstellung der Elementverteilung über ein Profil (Linescan), das gemeinsam mit einem Rückstreuelektronenbild aufgenommen wird. Ein Linescan ist schneller aufzunehmen als eine Elementverteilungskarte, liefert aber nur eine eindimensionale Information und ist nur sinnvoll, wenn das Elementprofil skaliert und beschriftbar ist.
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